Was ist Nanolithographie?
Nanolithographie ist ein Zweig der Nanotechnologie und der Name des Prozesses zum Prägen, Schreiben oder Ätzen von Mustern auf einer mikroskopischen Ebene, um unglaublich kleine Strukturen zu erzeugen. Dieser Prozess wird normalerweise für die Erstellung kleinerer und schnellerer elektronischer Geräte wie Mikro- / Nanochips und Prozessoren verwendet. Die Nanolithographie wird hauptsächlich in verschiedenen Technologiebereichen von der Elektronik bis zur Biomedizin eingesetzt.
Nanolithographie ist ein breiter Begriff, der verwendet wird, um verschiedene Prozesse zum Erzeugen von nanoskaligen Mustern auf verschiedenen Medien zu beschreiben, von denen das Halbleitermaterial Silizium am gebräuchlichsten ist.
Der vorherrschende Zweck der Nanolithographie ist das Schrumpfen elektronischer Vorrichtungen, das es ermöglicht, mehr elektronische Teile in kleinere Räume zu stopfen, d. H. Kleinere integrierte Schaltungen, die zu kleineren Vorrichtungen führen, die schneller und billiger herzustellen sind, da weniger Materialien benötigt werden. Dies erhöht auch die Leistung und Reaktionszeiten, da die Elektronen nur sehr kurze Entfernungen zurücklegen müssen.
Einige Techniken, die in der Nanolithographie verwendet werden, sind wie folgt:
– Röntgenlithographie – Wird durch einen Proximity-Printing-Ansatz realisiert und beruht auf Nahfeld-Röntgenstrahlen in der Fresnel-Beugung. Es ist bekannt, seine optische Auflösung auf 15 nm zu erweitern.
– Doppelte Musterbildung – Eine Methode, die verwendet wird, um die Tonhöhenauflösung eines lithographischen Prozesses zu erhöhen, indem zusätzliche Muster zwischen den Räumen bereits gedruckter Muster in derselben Schicht gedruckt werden.
– Elektronenstrahl-Direktschreib- (EBDW-) Lithographie – Der am häufigsten in der Lithographie verwendete Prozess, der einen Elektronenstrahl verwendet, um Muster zu erzeugen.
– Extreme Ultraviolett (EUV) -Lithographie – Eine Form der optischen Lithographie, die ultrakurze Lichtwellenlängen von 13,5 nm nutzt.
